Controllo dell'inclinazione dei portaobiettivi

I sensori di spostamento capacitivi misurano l'inclinazione dei portaobiettivi con una precisione nanometrica. Grazie alla misurazione ad alta precisione, viene garantita una proiezione riproducibile. Diversi sensori misurano sul supporto metallico. Grazie all'estrema risoluzione, è possibile un'esatta esposizione del wafer.