Soluzioni di sensori ad alta precisione per l’industria dei semiconduttori
Gli impianti di produzione nell’industria dei semiconduttori devono essere dotati di sensori ultramoderni per soddisfare i crescenti requisiti di qualità e redditività. I minimi movimenti devono pertanto essere registrati con precisione, i minimi scostamenti di tolleranza riconosciuti in modo affidabile e i processi al limite di quanto fisicamente possibile devono essere monitorati. Le tecnologie di sensori della Micro-Epsilon si sono affermate nel settore dei semiconduttori da molti anni e offrono sempre la soluzione giusta per svariati compiti di misurazione: che si tratti di complessi processi front-end, applicazioni back-end o automazione nella fabbricazione di wafer.
Perché Micro-Epsilon?
- Maggiore precisione e innovazione - Made in Germany
- Consulenza, sviluppo e produzione da un unico fornitore
- Insieme ai nostri clienti: Qualità e competenza nelle soluzioni in serie & OEM
- Conoscenze tecnologiche e applicative approfondite nella produzione di semiconduttori
Sensorica di precisione per il monitoraggio e la regolazione dinamici delle macchine
I sensori ottimizzati della Micro-Epsilon vengono utilizzati nella costruzione di macchine per semiconduttori per misurazioni precise. Vengono utilizzati in applicazioni con alte accelerazioni, forti campi magnetici e nell’ultra alto vuoto. I sensori sono soggetti ai massimi requisiti di qualità e monitorano tra l’altro l’orientamento di fotomaschere e sistemi di lenti, il posizionamento nella gestione dei wafer e la posizione corretta di specchi ed elementi ottici.
Le nostre soluzioni di sensori per l’industria dei semiconduttori
Vi offriamo un portafoglio completo di sensori e dispositivi di misurazione precisi per una vasta gamma di fasi di processo nella produzione di semiconduttori. Sviluppiamo e produciamo soluzioni di sensori e attuatori personalizzate per applicazioni in serie. Disponiamo di corrispondenti metodi e capacità di produzione per permettervi di utilizzare i sensori anche in ambienti complessi.
Moderni metodi di produzione per sensori di spostamento ad alta precisione
A causa delle esigenze elevate nella produzione di semiconduttori, tutti i sensori e sistemi della Micro-Epsilon sono sottoposti a processi di produzione e controllo complessi. Questo riguarda tra l’altro la scelta e il posizionamento dell’elettronica, la produzione meccanica e speciali tecnologie di processo. Inoltre nei sensori vengono utilizzati materiali specifici per l’applicazione, al fine di soddisfare i più elevati requisiti di qualità.
- Tecnologia laser UKP
- Brasatura in vuoto ad alta temperatura
- Produzione di precisione
- Test di burn-in
- Impianti di colata completamente automatici
- Passivazione e rivestimento di componenti e gruppi di commutazione
Design dei sensori personalizzato in base alle specifiche del cliente
- A ridotta emissione di gas
- Idoneità al vuoto
- Opzioni di pulizia
- Tecnologie conformi a UHV
- Tecnologie di collegamento
- Etichettatura e imballaggio conformi ai semiconduttori
- Elevati standard di garanzia di qualità
Più precisione per i semiconduttori
Micro-Epsilon offre la soluzione giusta per numerose applicazioni nel settore dei semiconduttori - dal posizionamento preciso della macchina passando per l’ispezione dei wafer fino alla misurazione topografica. I sensori vengono utilizzati sia in processi front-end che back-end e convincono per la massima precisione e affidabilità.
Esempi di applicazioni dal settore dei semiconduttori sono disponibili qui
